氦氖激光器 1．氦氖激光器的结构 氦氖（ He-Ne）激光器的结构一般由放电管和光学谐振腔所组成。激光管的中心是一根 毛细玻璃管， 称作放电管 （直径为 1mm 左右）；外套为储气部分 （直径约 45mm）；A 是钨棒， 作为阳极； K 是钼或铝制成的圆筒， 作为阴极。 壳的两端贴有两块与放电管垂直并相互平行 的反射镜， 构成平凹谐振腔。 两个镜版都镀以多层介质膜， 一个是全反射镜， 通常镀 17层膜。 交替地真空蒸氟化镁（ MgF2与硫化锌（ ZnS）。另一镜作为输出镜，通常镀 7层或 9层膜（由 最佳透过率决定） 。毛细管内充入总气压约为 2Torr（托）的 He、Ne混合气体，其混合气压 比为 5：1－7：1左右。内腔管结构紧凑，使用方便，所以应用比较广泛。但有时为了特殊的 需要也常选用全外腔式或半外腔式。 全外腔式的放电管和镜片是完全分离的，半外腔式是上两种形式的结合。 外腔式和半