序号 项目 符号 数值
一、 空气泄漏量的计算(密封长度)
1 真空系统所有接口的密封长度和 L 5
2 接口密封质量(输入: 1- 非常好、 2-好、3-正常) 3
3 空气泄漏量 ----- 非常好 K 0.03
4 空气泄漏量 --------- 好 K 0.1
5 空气泄漏量 ------- 正常 K 0.2
6 每米空气泄漏量 K 0.2
7 总空气泄漏量 Q1 1
二、 空气泄漏量的计算(系统容积)
1 系统容积( m3)
2 0.1 0.5
3 1.0 1
4 3.0 2
5 5.0 4
6 10.0 6
7 25.0 8
8 50.0 10
9 100.0 20
10 200.0 30
11 真空系统容积 (输入数值) V 2.0
12 真空系统的泄漏量 Q1 1
13 系统泄漏量(比较密封长度泄漏量与容积泄漏量,选大值) Q1 1
三、 系统连续使用过程中的排气量
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