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2009年 9月 洁净与空调技术CC&AC 第 3期
电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择
中国电子工程设计院 王 鹏
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摘 要 对电子洁净厂房工艺给水不同水质要求所选用的管材进行说明。
关键词 电子洁净厂房,纯水,工艺冷却水,管材选择。
Electronics Cleanroom Process Cooling Water and DI Water Pipe Material Selection
Wang Peng
Abstract Description of pipe material meeting different water quality requirements.
Keywords Cleanroom; DI water; Process Coolin