第 37卷 第 3期 现 代 技 术 陶 瓷 Vol. 37 No. 3
2016 年 6 月 Advanced Ceramics June 2016
中图分类号: TB321 文献编号: 1005-1198 (2016) 03-0168-11
文献标识码: A DOI: 10.16253/j.cnki.37-1226/tq.2016.02.011
光刻机用精密碳化硅陶瓷部件制备技术
刘海林,霍艳丽,胡传奇,黄小婷,王春朋,梁海龙,唐 婕,陈玉峰
中国建筑材料科学研究总院,北京 100024
摘 要:本文介绍了光刻机用碳化硅陶瓷结构件的特点及其对材料的要求,分析了碳化硅
陶瓷在光刻机中作为结构件材料使用的优势,着重介绍了中国建筑材料科学研究总院在精密碳
化硅结构件的制备领域所取得的技术成果,列举了精密碳化硅结构件在光刻机等集成电路制造
关键装备中的应用。
关键词:碳化硅;凝胶注模;素坯