吊顶系统
C. 无尘室系统
C.1.1 吊顶系统
C.1.1.1 描述及地点 在 TFT110级无尘室生产区一期, TFT240级以及 CF60级会 覆盖着一个
连续的天花板网格系统。第 1 阶段支撑区域的上 10级,级别的部分天花板 20,40 级和 60
也将布满天花板网格系统。
天花板网格系统的组成:
挤压铝简介
压铸铝连接器
ULPA / HEPA 过滤器 1200 x 1200 毫米
空白面板
必要的支撑 ,
悬架和底座
天花板系统包括 ULPA过滤器和空白板的组合。 所设计的洁净室等级和 /或为层流或湍流气流
的要求确定的 ULPA/ HEP一个过滤器的数量和布局。该 ULPA/ HEPA过滤器过滤空气的过程,
因为它是受到压力的洁净室。
天花板高度应分别如下(从高架地板和 PVC地板之上的上下吊顶格栅轮廓) :
无尘室高地 级别(具体高度根据相关图纸)