注明掺 镓体
系的硅 料标
识
YES
YES
YES
YES
YES
YES
长晶工序
是 否 是 晶
棒
切断工序
合格圆
棒
头料分级
尾料分级
吊肩料、
埚 底 料
分级
粘胶工序
合格方
棒
切片工序
合格硅
片
预清洗工序
合格硅
片
清洗工序
合 格 硅
片
合格方
棒
副
产
品
做
好
掺
镓
标
识
入
二
级
料
仓
库
腐
蚀
工
序
三
级
料
仓
库
开方工序
边皮、头料、尾料
依据电阻率分档
头料、尾料依据
电阻率分档
依据电阻 率分
档
依据电阻 率分
档
依据电阻 率分
档
NO
NO
YES
NO
NO
NO
NO
NO
甩干工序
合格硅
片
成品检验工序
是否返
工
返回清洗工
序
合格硅
片
做好标识入
二级仓库
做好掺鎵标识入成品仓库
YES
NO
NO NO