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中国可再生能源学会 2011年学术年会论文(太阳能热利用新产品和新设备)
复合分子泵在全玻璃真空集热管烘烤排气线的应用推广
苗建朋,王双,刘建立,刘建明,周旭,池华敬,陈革,章其初
皇明太阳能集团镀膜研发中心,山东,德州, 253000
摘要:全玻璃真空集热管烘烤排气线 42辆台车全部采用复合分子泵进行烘烤排气抽高真空获得成功。
复合分子泵长时间生产运行后,经受多次集热管管口破裂引起的大气冲击,没有损坏,抽真空性能无明显
变化。与通常采用的油扩散泵相比,分子泵抽真空烘烤排气的集热管无油污染,制备的集热管的真空度一
致性提高。烘烤排气线的故障率降低。另外采用分子泵抽高真空节能效果明显。
关键词: 复合分子泵;抽速测试;集热管烘烤排气线;大气冲击;真空度
1引言
全玻璃真空集热管由玻璃内管和外管组成,内
管一端制成圆头通过不锈钢支架与外管支撑,另一
端和外管封接。真空磁控溅射