真空泵选型
真空泵 的作用就是从真空室中抽除气体分子, 降低真空室内的气体压力, 使之达到要求的真
空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一 种真空系统能覆
盖这个范围。因此, 为达到不同产品的工艺指标、 工作效率和设备工作寿命要求、 不同的真
空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置, 选择真空系统时,应考虑下述各
点:
确定工作真空范围 : ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。 因为每一种工艺都有其
适应的真空度范围,必须认真研究确定之。
确定极限真空度
----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真
空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低
20%,比前级泵的极限真空度低 50%。
被抽气体种类与抽气量
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内