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5.1.1技术要求
2.冷却系统额定冷却容量: 15kW
3.额定冷却流量 : 2.2 t/h
4.额定去离子流量 : 无
5.冷却水电阻率值 : ≤100μs/cm
6.去离子水电阻率: 无
7.进阀水温度 : ≤40℃
8.出阀水温度 : ≤47℃
9.冷却水进阀压力 : ≥4.0bar
10.水冷装置设计压力 : 0.6MPa
11.水冷装置测试压力 : 0.8MPa
12.主循环过滤精度 : 200 μm
13.去离子回路过滤精度 : 无
14.冷却介质 : 纯水+乙二醇
15.装机电容量 : 3kW
5.1.2选型说明
主循环水泵 : 一备一用 CHI2-60
二次散热方式 : 水风换热器一套
电加热器:功率见主要设备一览表
控制器 : PLC S7-200 系列,一套
人机界面 : TD200 ,一台
报警要求