单片机控制的准分子专用组合电磁阀门

单片机控制的准分子专用组合电磁阀门

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37 2021-04-28
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正文 简介
介绍了一个用于准分子激光器自动充排气的系统,它由单片机控制的组合电磁阀门构成。文章阐明了系统、机械、电气和软件的结构。在KrF准分子激光器上实现了重复精度较好的自动配气。整体结构紧凑、性能稳定,简化了充配气操作,还可以用它实现自动微调激光气体成分,达到延长工作气体寿命的目的。
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