用于真空压力测量的电容式薄膜真空计
本专利所涉及制造的是一种用于真空压力测量与控制的仪器仪表。它是检测真空压力的理想仪表,由于运用了电容量变化的原理,采用了可变电容结构,成功地制造出了一种结构简单,成本较低,工作特性稳定,过压能力强,测量精度和灵敏度高,耐蚀性强,长期稳定性好的真空压力测控仪表——电容式薄膜真空计。
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