用于提高投料量的多晶铸锭炉热场改造及工艺研究
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35 2020-12-27
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正文 简介
目前ECM铸锭炉由于热场空间及坩埚尺寸的限制,其投料量最多达450kg。同时由于热场和温度场的局限性导致生产出来的硅锭晶体紊乱且晶粒偏小,多晶硅片电池效率较为低下。本文论述了通过热场改造、采用加高坩埚和全新的铸锭工艺来生产550kg的硅锭,不仅增加了铸锭投料量,而且强化纵向温度梯度优化了硅锭中晶粒的质量,提高了多晶硅片的光电转换效率。通过对550kg和450kg硅锭数据进行对比后发现,前者的铸锭效果要明显优于后者。
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