3 88
ITO
20
21
2 1
1
LCD
PDP
10” LCD
VGA~XGA
30”[
UXGA/HDTV
200
VGA 30
LCD
100
1000 3000
3 893
ITO
ITO
2
ITO
10 ? /
2
ITO
3 ITO
4
200°C
ITO
ITO 5
ITO
ITO
4, 5 6
7, 8 9
ITO
9 9
99.99 ITO
ITO
10
7,8
100V
8, 11
ITO
ITO
ITO
ITO
ITO
? /
2
< 1000
40~300
15~40
< 10 PDP EL
LCD
ITO
10 ? /
2
1.5 10
–4
?
30 μm
200°C
300
2
~ 450
2
10%
3 90
ITO
ITO
ITO
ITO
ITO
ZnO In 2 O 3
IZO
IZO
2.9 10
-4
? 0.2 M
500 nm/mi