浅析磁控溅射镀膜玻璃 “针孔”和“脱膜”现象
郭 明
(洛玻集团晶润镀膜玻璃公司 洛阳市 471009 )
摘 要 根据多年维修 、管理美国 A IRCO (爱柯 ) 磁控溅射镀膜玻璃生产线的实践经验 ,全面
分析了磁控溅射镀膜玻璃 “针孔”和“脱膜”等膜面质量问题的原因和解决方法 。
关键词 磁控溅射镀膜玻璃 针孔 脱膜
自 1988 年到目前为止 ,国内已经引进了近
三十条磁控溅射镀膜玻璃生产线 。 主要为美国
A IRCO (爱柯 ) 和德国 L EYBOLD (莱宝 )两家
公司的设备和技术 。 虽然每条生产线的规模和
档次不同 , 但其工艺均为磁控溅射镀膜 , 该工艺
技术已经非常成熟 ,能在大面积玻璃上镀制结
合力强 ,膜层均匀 , 重复性好的高质量膜 。
随着设备使用年限和磨损的增加 , 如果设
备操作和维修人员对磁控溅射镀膜工艺和设备
的理解 、掌握不精 , 在生