ZnO 基透明导电薄膜的研究应用进展
【摘 要】本文概述了 ZnO 基透明导电薄膜在硅基薄膜太阳电池中的应用前
景及其最新研究进展。 介绍了利用透明导电薄膜绒面结构提高薄膜太阳电池效率
的方法,并对绒面 ZnO 基透明导电薄膜的制备方法和研究进展做了详细的阐述,
重点讨论了近期关于制备工艺和薄膜绒面结构、电学及光学特性关系的研究结
果。
【关键词】 ZnO;透明导电薄膜;薄膜太阳电池
随着全球经济的迅速发展和人口的不断增加, 以石油、天然气和煤炭等为主
的化石能源正逐步消耗 ,能源危机成为世界各国共同面临的课题。近年来,随着
材料制备技术的进步, 太阳能电池中的硅基薄膜太阳电池具有低成本优势, 成为
可再生能源的重要发展方向 [1],其市场份额不断提高。透明导电薄膜是硅基薄
膜太阳电池中不可缺少的部件之一。 目前太阳电池中常用的透明导电薄膜有掺氟
的二氧化锡( FTO)薄膜、掺锡的氧化铟锡