氧化物薄膜半导体材料的研制及应用
ZnO 薄膜的结构、性能应用和制备
摘 要:介绍了宽禁带半导体 ZnO 薄膜的结构、主要性质、制备工艺和应用等几方面内容。
关键词: ZnO 薄膜;结构; 性质; 制备
Abstract:The crystal structure ,basic performance, and preparation of ZnO films
with wide forbidden band were reviewed .
Key words: ZnO thin film ; crystal structure ;nature ;preparation
1 引言
ZnO 是 II- VI 族宽禁带直接带隙化合物半导体 , 室温下禁带宽度约为 3.3 eV, 激子束缚
能为 60 meV,可以实现室温下的激子发射。自 1997年报道了 ZnO薄膜紫外受