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化学品管道施工工艺详述
在集成电路芯片和液晶显示器生产的行业中 ,生产工艺需用的各
种无机化学品药液(主要包括 各类酸、碱、盐 等)需要通过管道输送到
工艺设备,这些化学品药液中具有强腐蚀性、易燃性、易爆性和剧毒性
等危害,为防止化学品管道的输送过程对人、 设备造成伤害以及对环境
造成的污染, 保证电子工业厂房化学品管道安全有效输送, 要求此类管
采用双套管的施工方法 ,而传统的 双套管施工工艺是透明 PVC管内穿 PP
管或 PVDF管的硬管施工方法 。
本工艺采用了透明 PVC管内穿 PFA软管的施工方法,即管道系统
包括内外管两层管道 ,内管采用四氟乙烯与全氟烃基乙烯醚的共聚物的
软质管道 (分 PFA/PVDF/ECTFE等系列 ), 内管为输送化学品的管道, 外管
采用透明 PVC管道,为保护管道。
输送管道规格一般为 DN10、20、25、50 (1/4 ”、