压力传感器
压力传感器是工业实践、 仪器仪表控制中最为常用的一种传感器, 并广泛应
用于各种工业自控环境, 涉及水利水电、 铁路交通、生产自控、航空航天、军工、
石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。
力学传感器的种类繁多, 如电阻应变片压力传感器、 半导体应变片压力传感
器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传
感器及电容式加速度传感器等。 但应用最为广泛的是压阻式压力传感器, 它具有
极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。
1、压阻式压力传感器原理与应用:
压阻式压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传
感器。压阻式传感器常用于压力、 拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物
理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。
压阻效应
当力作用于硅晶体时,晶体的晶格产生变形 ,使载流子