本文由 anny6601 贡献
doc 文档可能在 WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择 TXT,或下载源文件到本机查看。
序号 流程 设备名称 1 硅片清洗、制绒 自动化学清洗机 2 硅片干燥 离心干燥机 3 扩
散(磷) 扩散炉 4 表面电阻率测试 电阻率测试仪 5 去除表面氧化层漂洗 自动化学清洗机
6 等离子周边刻蚀 等离子刻蚀机 7 SiN 减反射膜沉积 PECVD 8 背面电极印刷 丝网印刷机
9 背面电极烘干 干燥炉 10 铝背场印刷 丝网印刷机 11 铝背场烘干 干燥炉 12 正面银电
极印刷 丝网印刷机 13 烧结 烧结炉 14 测试分选 IV 测试机 15 包装出货 太阳能电池片
制造的生产工艺 一、硅片检测 硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太
阳能电池片转换效 率的高低, 因此需要对来料硅片进行检测。 该工序主要用