机械真空泵的工作原理及结构特点 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定 义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或 设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每 秒几十万、数百万升。极限压力 (极限真空 )从粗真空到 10-12Pa 以上的超高真空范围。 由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可 能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使 用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其 性能要求组合起来，以机组型式应用。 凡是利用机械运动 (转动或滑动 )以获得真空的泵，称为机械真空泵。机械真空泵按其 工作原理及结构特点分述如下： 一、变容真空泵 它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和