反射膜基板得工芸流程
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素板G lass得清洗
首先、先在外注工司对素板 Glass進行清洗。
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ITO膜得噴塗
接地
Glass
ITO ITO ITO
ITO
磁体
加熱器 加熱器
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反射膜得噴塗
接地
Glass
Ag Ag Ag
APC
磁体
加熱器 加熱器
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感光樹脂塗布 ? 露光 ? 現像①
感光樹脂液
反射膜
ITO膜
Glass基板
Glass基板
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感光樹脂塗布 ? 露光 ? 現像②
G lass基板
干版
Glass基板
UV光
Glass基板
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感光樹脂塗布 ? 露光 ? 現像③
Glass基板
現像液
G lass基
板
G lass基板
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蝕刻 ? 感光樹脂剥離 ①
蝕刻液
Glass基板
G