电池片生产工序流程
第一道工序是清洗制绒,目的是通过一系列化学处理使硅片表面形成绒面 ,
来减少对光的反射 ,吸收更多的光。 目前我们公司使用的是德国产的 RENA 清洗机,
它采用全自动计算机控制添加排放药液,智能分析控制药液流量及浓度,以达到高
效率、高产量、高稳定性产品。
第二道工序是磷扩散工序,目的是通过扩散磷杂质,在 P 型衬底硅表面形成
N 型硅,制作 PN 结。 PN 结的制作是生产太阳光伏电池的核心工艺步骤。目前我
们公司主要使用的是中国电子科技集团公司第四十八研究所的扩散炉,它能达到较
好的扩散控制精度。
第三道工序是后清洗工序,通过酸碱腐蚀去除扩散在硅片边缘的 PN 结,防
止电池正负极短路。 目前我们公司使用的是德国 RENA 机,全自动计算机控制生产
速度快。
第四道工序是 PECVD 工序,目的是通过等离子增强化学气相沉积在扩散面
上镀上一层淡蓝色 SIN 膜,减