精密位移量的激光干涉测量方法及实验 一、实验目的： 1． 了解激光干涉测量的原理 2． 掌握微米及亚微米量级位移量的激光干涉测量方法 3． 了解激光干涉测量方法的优点和应用场合 二、实验原理 本实验采用泰曼－格林（ Twyman-Green）干涉系统， T－G 干涉系统是著名的迈克尔逊 白光干涉仪的简化。用激光为光源，可获得清晰、明亮的干涉条纹，其原理如图 1 所示。 He-Ne 激光器 扩束准直系统 M 1（参考镜） M2（测量镜） 干涉条纹 L1 L 2 D BS L /2 图 1 T－G 干涉系统 激光通过扩束准直系统 L1提供入射的平面波 （平行光束）。设光轴方向为 Z 轴，则此平 面波可用下式表示： ikzAeZU )( (1) 式中 A 平面波的振幅， 2k 为波数， 激光波长 此平面波经半反射镜 BS 分为二束，一束经参考镜 M 1，反射后成为参考光束，其复振 幅 U