10万级净化工程方案剖析
净化工程的定义:
净化工程是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、 有害空气、细菌
等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与
气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予
特别设计之房间。 亦即是不论外在之空气条件如何变化, 其室内均能
俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净化工程等级划分: 1级≥百级级≥千级级≥万级≥十万级≥百万级
越排在前面,级别越高, 1级是级别最高的。最常见的是百级到十万
级。(如下图所示)
本文由湖南纯臻净化工程整理:
1 级 这个级别的净化工程主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求
为亚微米。
10级 这个级别的净化工程主要用于带宽小于 2微米的半导体工业。
100 级 这一净化工程大量应用于:植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成
器的制造。
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