浅谈电子制造过程中的静电及静电防护 引言 ESD(Electrostatic Discharge) 即静电释放：两个带不同静电电平的物体， 通过直接接触或静电电场的作用会使两物体的静电电荷发生位移，当静电电场达 到一定能量，之间的介质被击穿而产生放电，这就是 ESD 的全过程。由于生活中 静电无处不在，所以 ESD 也经常发生。我们可以按以下描述简单判断 ESD 的强 弱，当放电电压低于 3 kV 时，ESD 过程会发生但我们不会感觉到， 电压大于 3 kV 时，人体有轻微麻麻的感觉，当电压大于 6 kV 时，我们会听到 "劈啪 "的放电声， 而当电压大于 8 kV 时，同时还会伴随快速的电弧火花出现。 随着科学技术的飞速发展，电子、通信、航天航空等高新产业的迅速崛起， 尤其是电子仪器仪表和设备等电子产品日趋小型化、多功能及智能化。高密度集 成电路已成为电子工业对上述要求中不可缺少的器件。