特种气体系统工程技术规范
2011-04-07 08:31:54| 分类: 默认分类 | 标签:气体 特种 管道 气瓶 阀门 |字号 订阅
1 总 则
1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规,确保安全可靠,保
护环境,满足电子产品生产要求,保护人身和财产安全,做到安全适用、技术先进,经济合理。制定本
规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外,应符合国家现行有关标准的规定。
2 术 语
2.0.1 特种气体 specialily gas
用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用
的气体。通常包括可燃性气体、氧