铝箔表面复合阳极氧化膜研究
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顾德恩 , 陈金菊 ,冯哲圣 , 杨邦朝
(电子科技大学 微电子与固体电子学院 , 四川 成都 610054)
摘 要: 采用溶液浸渍法在低压腐蚀铝箔表 面沉积一层 T i氧
化物 ,然后将试样在有 机盐水 溶液中 阳极氧 化至 20. 0V。在恒
流升压过程 中 ,记录电压- 时间曲线 。借助 XPS和 XRD 等分析
手段分析阳 极氧化膜结构 , 并对复 合阳极 氧化膜 的生长 机理进
行了探讨。结果表明 :含 T i 处理液 浸渍处 理后 , 试样阳极 氧化
的电压- 时间曲线斜率显著增大 ,阳极氧化膜是 由 Al 2 O3 和 T iO 2
构成的复合阳极氧化膜 ,其介电常数高于 Al 2 O3 阳极氧化 膜 ,使
阳极箔比容提高 24. 8% 。
关键词 : 阳极箔 ; 介电常数 ;浸渍 ;复合阳极氧化膜
中图分类号 : T M53 文献标识码 :