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超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题
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标 科学技术发 的不同历史阶段,对精度要求的
水平有所不同。随着近 20年科学技术的迅速发展,
对仪器精度要求出现了数量级的变化。从精密测量
1lI.5t一~0.05b~n】、发展到超精密测量 (0 05/nn~
t).O05tm1).最 近 提 出 纳 米精 度测 量 (5m ~
0.05rim)的要求.
根据专家们的推测,姒xJ年以后,随着精密工
程技术、尖端技术和空间技术的迅速发展,轮廊形
状允差为 50rlm~5rIm,尺度允姜 l(M)r1Ifl~10nm的
趟精密零『牛将被r泛使用,所 超精密测量技术和
f 器工程的研究 应用已成J,J 坶科学技术发展
l】 火键=
l 二维和三维微小内尺度精密