中国科学院半导体研究所3号净化实验楼采用防静电环氧自流平地面,该地面具有持久的防静电效力。施工中制定了包括基层处理,底涂层、中涂层、面涂层的施工和养护方法在内的施工工法,工法内还包括各项质量安全等保证措施。
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