全球领先的半导体设备元件供应厂商Swagelok日前宣布,推出Swagelok DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀,可精确地控制流体,落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件SEMI Standard F57—0301标准的承诺。DRP系列产品最新的架构应用相当广泛,包括具侵蚀性的CMP半流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。
全球领先的半导体设备元件供应厂商Swagelok日前宣布,推出Swagelok DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀,可精确地控制流体,落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件SEMI Standard F57—0301标准的承诺。DRP系列产品最新的架构应用相当广泛,包括具侵蚀性的CMP半流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。