不锈钢衬底的预处理条件对碳纳米管薄膜场发射性能的影响(英文)
不锈钢衬底的预处理条件对碳纳米管薄膜场发射性能的影响(英文)
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22 2021-04-27
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正文 简介
在不同预处理条件的不锈钢衬底上 ,利用微波等离子体化学气相沉积 (MWPCVD)方法从甲烷和氢气的混合气体中沉积碳纳米管薄膜 ,并对其场发射性能进行了研究 .实验发现 ,不锈钢衬底的机械抛光和酸洗 ,能降低碳纳米管膜的开启场强 ,增大它的发射电流密度 .在场强为 6 .2 5 V/μm时 ,衬底未处理样品的电流密度为 1.2 m A / cm2 ,而衬底抛光的样品和衬底抛光又酸洗的样品的电流密度分别达到 3.2和 2 .75 m A / cm2 .衬底只需机械抛光 ,而不需要酸洗 ,就能改良碳纳米管膜的场发射性能
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