316L不锈钢表面沉积类金刚石膜的拉曼光谱分析及润湿性研究
316L不锈钢表面沉积类金刚石膜的拉曼光谱分析及润湿性研究
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28 2021-04-27
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正文 简介
采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)法,在316L不锈钢基体表面以不同的沉积气压和射频功率制备出类金刚石(DLC)薄膜。拉曼光谱分析结果表明:所沉积的DLC膜具有典型的类金刚石膜结构,薄膜中sp3键含量随工艺参数的不同而不同,射频功率100 W时,sp3键含量随沉积气压增高而降低。接触角测试结果表明:DLC膜沉积后,316L不锈钢表面与生理盐水和去离子水的接触角均变大,润湿性降低。
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