一种新型压电式双向无阀微泵的研制

一种新型压电式双向无阀微泵的研制

86 4.6
29 2021-04-28
pdf | 1.6MB | 4页
正文 简介
采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3mm3,泵腔体体积约10mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工作电压为110V、频率为40Hz时,微泵的正向最大泵压为120mm水柱,频率为50-90Hz时,最大流量70μl/min;当频率为35Hz时,微泵的反向最大泵压为70mm水柱,最大流量56μl/min.
*温馨提示:该数据为用户自主上传分享,如有侵权请举报或联系客服:400-823-1298处理。
自由***
自由***
服务: 4.5
数据量: 5
人气: 234
擅长:土建 给排水 暖通

您可能感兴趣

原价: 100 积分
立即购买