系统研究了直径为0.5mm的细晶粒微型钻头金刚石涂层前预处理工艺对其断裂强度的影响,并尝试使用线形同轴耦合式微波等离子体CVD方法对预处理后的微型钻头进行了金刚石涂层。其中,预处理采用Murakam i溶液(10gKOH+10gK3[Fe(CN)6]+100gH2O)对微型钻头进行表面侵蚀,使其表面适当粗化;其后采用硫酸-双氧水溶液(10mL 98wt%H2SO4+100mL 38%m/v H2O2)对微型钻头表面进行侵蚀,以去除其表面的Co。实验表明,被广泛采用的上述两步法表面预处理技术对尺寸较小的硬质合金微型钻头的断裂强度会造成显著的影响。即使是很短时间的预处理,也会对硬质合金表面造成显著的损伤,引起微型钻头断裂强度的大幅度下降。其中,酸处理过程由于会引起表层组织疏松,其造成的断裂强度的下降更为严重。这表明,两步法预处理方法并不适用于尺寸较小的硬质合金工具。针对小截面硬质合金工具金刚石涂层的需求,需要发展更为适用的表面预处理方法。