利用双层辉光等离子渗金属技术,以稀土钇、钨、钼作为源极,在Q235钢表面进行钇钨钼共渗,形成均匀致密合金扩散层。探究了保温温度、极间距、气压、保温时间等工艺参数对合金扩散层厚度的影响。通过金相显微镜观察扩散合金层的金相组织,用EDS、XRD观察分析合金扩散层的成分分布和相结构。研究结果表明,等离子钇钨钼共渗最佳工艺参数为:源极电压-900~-1000 V、阴极电压-450~-650V、保温温度1 000℃、极间距25mm、工作气压30 Pa、保温时间3~4 h。可获得25μm的扩散合金层,扩散合金层为均匀固溶体层,组织形貌为柱状态晶体,基体与渗层之间有明显的反应扩散分界线,渗层与基体是冶金结合,无剥落现象,合金扩散层具有较好的成分和结构梯度。