非相干光反馈表面轮廓测量实验研究
非相干光反馈表面轮廓测量实验研究
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28 2021-04-28
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正文 简介
数值研究了非相干光反馈时半导体激光器输出功率随反馈系数的变化关系以及待测物体离焦量与反馈系数的关系。提出了基于非相干光反馈的表面轮廓测量系统,并实验验证了系统的可行性,完成了对一元硬币的二维平面扫描成像,并分析了实验结果中的误差以及可能影响测量结果的主要因素。
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