熔融铈快速抛光CVD金刚石厚膜及表面分析
熔融铈快速抛光CVD金刚石厚膜及表面分析
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25 2021-04-28
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正文 简介
利用熔融稀土铈(Ce)对CVD金刚石厚膜进行了抛光研究。详细讨论了工艺参数对抛光速率和表面粗糙度Ra的影响,获得了最佳抛光工艺。通过对抛光后金刚石膜表面的拉曼光谱(Raman)、俄歇能谱(AES)、扫描电镜(SEM)以及能谱(EDS)的分析,探讨了抛光机理。结果表明:该方法有很高的抛光速率,可达每小时数百微米。抛光后金刚石膜的Ra从10.845μm降低至0.6553μm。抛光的热处理工艺不但没有破坏金刚石表面的原始结构,而且由于铈对石墨的优先刻蚀,抛光后金刚石膜表面的石墨含量还大大减少。
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