用幕墙玻璃镀膜生产线大面积制备ITO膜

用幕墙玻璃镀膜生产线大面积制备ITO膜

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35 2021-08-07
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正文 简介
通过对幕墙镀膜生产线的改造,用矩形平面磁控溅射靶大面积生产氧化铟锡(ITO)膜,并对其主要工艺参数介绍了一些浅显的看法。
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