一种新型去除硼硅玻璃的方法

一种新型去除硼硅玻璃的方法

130 4.5
27 2021-08-07
pdf | 253KB | 3页
正文 简介
通过在硼扩散后增加一步800℃、5min的氧化工艺,使得硼扩散过程中产生的硼硅玻璃能够去除干净,在去除硼硅玻璃后的硅片上生长的氧化层厚度均匀、可控,有利于提高器件的光响应均匀性。
*温馨提示:该数据为用户自主上传分享,如有侵权请举报或联系客服:400-823-1298处理。
wsy***
wsy***
服务: 4.5
数据量: 10
人气: 444
擅长:土建 装饰 园林 电气

您可能感兴趣

原价: 100 积分
立即购买

老客限时专享

优惠倒计时: 09:06:12

优惠券专享

恭喜您获得500元优惠券