超细纤维过滤器也称高效过滤器,国外称之为HEPA(High Ffficiency Particulate Air)过滤器。过滤介质是由极细之玻璃、石棉或塑料等纤维制成的“滤纸”,纤维之直径可以小至0.1微米,过滤效率以0.3微米的颗粒计一般可达39.97%。我国因电子工业的需要促进了高效滤纸及高效过滤器发展,接着超细纤维过滤器又有了很大发展,滤材的过滤效率,从1965年报导的99.84%到1973年已达99.997%,组装成的过滤器过滤效率以0.3~0.5微米的颗粒计也可达到99.95%以上,近年来滤纸效率又进一步提高到99.9999%,由于超细玻璃纤维制