一种真空玻璃等离子体清洗方法和设备

一种真空玻璃等离子体清洗方法和设备

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37 2021-09-20
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正文 简介
本发明公开了真空玻璃等离子体清洗方法,该方法包括以下步骤:1)、将与激发电源相连的两个激发电极作用在真空玻璃上;2)、通过真空玻璃的抽气口将真空腔抽至设定压力;3)、打开激发电源,使产生的等离子体轰击玻璃内表面和封装层内表面,使吸附在其上的有机污染物脱离出来;4)、将步骤3)中轰击产生的气体抽走;5)、重复2。4的步骤;6)、持续抽真空到设定真空值后,对抽气口进行密封,完成真空玻璃制造。
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黄成轶
黄成轶
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