加 H2镀 OLED 用 ITO 导电玻璃
为了解决 OLED 用 ITO 导电玻璃表面粗糙度和抛光粉残留影响发光器件的
发光效率及其使用寿命,希望直接用真空镀膜工艺得到低粗糙度 ITO。在金工的
指导下查阅大量资料,做了大量实验初步研究出真空设备直接镀出低粗糙镀
ITO,下面是实验内容与结果:
样
品
号
Ar+O2/
SCCM
Ar
SCCM
H2
SCCM
气 压
Pa
速 度
HZ
功 率
KW
镀 膜
温
度
℃
退 火
温度
电 阻
Ω /□
Tr % Ra 备 注
(退火 工艺 )
1# 85 70 0.58 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.36
Ar/O 2=200 10
分钟
2# 85 70 0.59 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.42
不加气体 10 分
钟
3# 85 70 100 0.85 8× 2 3.