中北大学 2010 届毕业设计说明书
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1. 绪论
1.1 引言
压电陶瓷执行器因其体积小、位移分辨率高、响应速度快、输出力大、换能效
益高等优点,广泛应用于扫描探针显微镜、自适应 /主动光学元件、纳米定位、振
动控制、声学、声纳、微流体输送等领域中
[1]
。
对于压电陶瓷稳定工作很多困难亟待解决, 其中最迫切的就是驱动电源, 压电
陶瓷驱动电源技术己成为目前压电陶瓷执行器应用中的关键技术之一 [2]。
1.2 国内外研究现状
压电陶瓷执行器驱动电源主要有电压控制型和电流 /电荷控制型两种 [3],从实
现方式上主要有线性和开关式两种 [4]。电压控制型压电陶瓷执行器驱动电源有以下
几种方式:
1)线性直流放大式电源 直接采用高压运算放大器的方式具有静态性能好、
集成度高、结构简单等优点,但由于高压运算放大器的输出电流一般都小于 200mA,
因此压电陶瓷执行器的